講解二氧化硅層的一些缺陷

發布時間:2012-10-09


    氧化層表面產生各種斑點的主要原因有以下幾種,一種是硅片表面處理不凈,殘留著一些拈污的雜質微粒,高溫下沾附在二氧化硅層的表面,形成局部黑點,這種問題只要認真處理硅片就能消除。另一種是由于石英管長期使用,處在高溫區域的石英管產生白色薄膜,這種白色薄膜的結構比較松散,大氣流吹動或操作時震動就會造成微粒掉下來.落到硅片表面就會形成氧化層表面局部突起。所以應加強對石英管的清潔處理及適當更換老化的石英管是很有必要的。

    操作時一定嚴防水滴噴入石英管中,尤其在濕氧或水汽氧化時,當水溫過高,出現爆發性沸騰時,往往會將水珠直接噴入石英管中,如落到硅片上,就會出現彩色花斑。另外清洗過的硅片上如殘留水跡,也會在氧化片子上出現花斑。當在二氧化硅表面存在斑點時,斑點處的氧化層對雜質的掩蔽作用可能失效,因此造成器件性能變差,如有較大的凸起斑點時,還會造成光刻操作質量下降,影響整個管芯生產的成品率,所以生產中應盡量避免出現斑點。

    氧化層針孔的產生與氧化的方法有關,一般熱氧化幾乎不產生針孔。但是如果硅片的質量不好,有嚴重的位錯,而位錯的地方又聚積較多的擴散系數大的雜質,例如,銅、鐵等,在這些地方就不能很好地生長出二氧化硅層,于是形成氧化層針孔,這些針孔一般肉眼不易發現,有時也稱盲孔,擴散時它能使雜質局部穿透,掩蔽失效,從而造成器件漏電增大,耐壓降低,甚至穿通,或者造成鋁電極與二氧化硅層下的區域短路。為了消除針孔,應選擇缺陷少的硅材料,并且表面光潔、平整。清洗時應嚴格操作,防止重金屬雜質沾污硅片表面。


產品中心

研發中心

聯系我們

地址:浙江省上虞市東關街道芝山工業區
電話:0575-82154735 82153422
傳真:0575-82153702 82150935
郵箱:yd@zjyuda.net.cn

手機版 微信公眾平臺
手機版 微信公眾平臺
地坪固化劑
綠色健康:全無機,無毒無味,無VOC,無甲醛,無重金屬等有害物質。
安全性高:防火阻燃,在高溫下無煙、無揮發物產生。
滲透性強:可用于不同質地的混凝土硬化,滲透厚度5-8mm,甚至更深。
無機乳液
產品在附著力、耐擦拭、耐鹽霧等方面均大大優于普通有機乳液。
產品透氣性好,所生產的涂料“會呼吸”。
產品具有較好的固色、防腐防火、阻燃等特性。
极品粉嫩饱满馒头一线天,老司机带带我在线视频免费,男人扒开添女人下部全视频,欧美人与z0zoxxxx视频